北京爱普特科技发展有限公司

21年专注工业空气净化定制烟雾净化/防爆除尘方案

烟雾净化器
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芯片加工超净空间净化器
芯片加工超净空间一体化净化方案
同步净化清洗烟尘与剥离颗粒,保障车间环境、设备稳定与生产合规,为绿色智造护航。
  • 污染物成分复杂 净化难度高产品品质

    芯片生产(光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等)过程中,洁净风若含微粒、气态分子污染物(AMC)、微生物等杂质,易附着在晶圆表面及精密电路结构上,造成电路短路、光刻图形缺陷、膜层夹层、金属薄膜侵蚀等问题,导致芯片电性能异常、良率暴跌,增加返工与报废成本,制约芯片向3nm、7nm等先进制程迭代,无法实现高端芯片高品质生产目标。


  • 严格的环保与职业 健康要求精密设备

    芯片生产依赖的光刻机、量检测设备、薄膜沉积设备、离子注入机等核心精密设备,易被洁净风中的微粒、化学污染物附着,造成镜头模糊、光路衰减、定位偏差、腔体污染,降低芯片加工精度与设备运行稳定性,加速光学元件、传动部件、精密腔体的磨损老化,增加设备维护频次、更换成本及停机时间,影响产线自动化精密运转。


  • 精密设备与车间 清洁度受损职业健康

    洁净风系统若过滤不彻底,会导致芯片生产过程中挥发的VOCs、酸碱气体等有害成分残留,长期接触会损伤操作人员呼吸系统与皮肤黏膜,刺鼻异味还会降低作业舒适度,易引发人员疲劳、注意力不集中,既影响作业效率,也存在明确的职业健康隐患,不符合芯片生产人性化、合规化生产要求。


  • 产能与安全 认证压力产线稳定运行

    芯片生产产线多为高节拍、高精密自动化连续运行模式,洁净风若洁净度不达标、温湿度波动超标或气流不稳定,不仅会污染洁净室环境、破坏ISO 1-3级洁净管控标准,还可能因微粒堆积、静电滋生引发设备电路短路、工艺中断,干扰产线连续运转,制约产能释放,无法满足芯片生产高效、清洁、稳定、精密的核心需求。


1V1定制组合式净化方案分级处理,一站解决

针对芯片生产洁净风的微粒、AMC等杂质,及产品品质、精密设备、职业健康、产线稳定等痛点,爱普特提供一站式洁净风解决方案。

分级过滤去除各类杂质与有害气体,精准控温控湿稳气流,保障晶圆品质与设备稳定,守护员工健康,助力高端芯片制程迭代。


为什么选择爱普特?
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01保障产品洁净

> 过滤效率:采用HEPA高效过滤器,对0.3微米以上颗粒物过滤效率高达99.997%,有效去除打标产生的超细颗粒。


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02智能监控,运行可靠,降低综合成本

> 智能感知 (部分型号):配备IQ2008智能控制系统,可实时监控滤芯状态、空气质量,堵塞时自动报警,避免滤芯失效未及时发现的风险。

> 稳定高效:核心风机采用专用风机,运行平稳,噪音低(部分型号<50dB),寿命长,保障连续生产。

> 维护便捷:更换无需工具。

爱普特产品型号:匹配您的生产需求
针对不同芯片生产洁净度要求,我们提供以下经典型号
型号

最大流量(m³/h)

最大负压 额定功率 电压
噪音水平
FC180H 200 3200 Pa 135 W 220 V < 55 dB
FC300H-DH 300 5000 Pa 300 W 220 V < 55 dB


以上为部分核心参数,更多技术细节或特殊定制需求,请咨询我们的工程师。


常见问题
  • Q: 500W激光清洗机需要配多大风量的净化系统?A: 风量需求与激光功率、清洗头距工件距离、是否密闭罩有关。通常需要1000-3000 m³/h或更高。我们需要您的具体参数进行精确计算。
  • Q: 组合系统如何控制和连接?A: 我们可以提供集成电控柜,实现前后级设备联动控制、统一报警。并支持与您的激光清洗设备进行IO信号通信,实现同步启停。
  • Q: 滤芯的更换周期和成本如何?A: 前置除尘器的防静电滤筒寿命较长,主过滤器的HEPA高效滤芯寿命受前级保护影响。系统设有压差报警提示更换。我们提供原厂耗材与维护建议。
联系工程师,获取免费方案评估 立即联系我们,获取免费现场勘查或一对一方案设计。我们的工程师将根据您的具体材料、设备和车间布局,提供匹配的净化方案。