产品品质
芯片生产(光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等)过程中,洁净风若含微粒、气态分子污染物(AMC)、微生物等杂质,易附着在晶圆表面及精密电路结构上,造成电路短路、光刻图形缺陷、膜层夹层、金属薄膜侵蚀等问题,导致芯片电性能异常、良率暴跌,增加返工与报废成本,制约芯片向3nm、7nm等先进制程迭代,无法实现高端芯片高品质生产目标。
精密设备
芯片生产依赖的光刻机、量检测设备、薄膜沉积设备、离子注入机等核心精密设备,易被洁净风中的微粒、化学污染物附着,造成镜头模糊、光路衰减、定位偏差、腔体污染,降低芯片加工精度与设备运行稳定性,加速光学元件、传动部件、精密腔体的磨损老化,增加设备维护频次、更换成本及停机时间,影响产线自动化精密运转。
职业健康
洁净风系统若过滤不彻底,会导致芯片生产过程中挥发的VOCs、酸碱气体等有害成分残留,长期接触会损伤操作人员呼吸系统与皮肤黏膜,刺鼻异味还会降低作业舒适度,易引发人员疲劳、注意力不集中,既影响作业效率,也存在明确的职业健康隐患,不符合芯片生产人性化、合规化生产要求。
产线稳定运行
芯片生产产线多为高节拍、高精密自动化连续运行模式,洁净风若洁净度不达标、温湿度波动超标或气流不稳定,不仅会污染洁净室环境、破坏ISO 1-3级洁净管控标准,还可能因微粒堆积、静电滋生引发设备电路短路、工艺中断,干扰产线连续运转,制约产能释放,无法满足芯片生产高效、清洁、稳定、精密的核心需求。
针对芯片生产洁净风的微粒、AMC等杂质,及产品品质、精密设备、职业健康、产线稳定等痛点,爱普特提供一站式洁净风解决方案。
分级过滤去除各类杂质与有害气体,精准控温控湿稳气流,保障晶圆品质与设备稳定,守护员工健康,助力高端芯片制程迭代。
> 过滤效率:采用HEPA高效过滤器,对0.3微米以上颗粒物过滤效率高达99.997%,有效去除打标产生的超细颗粒。
> 智能感知 (部分型号):配备IQ2008智能控制系统,可实时监控滤芯状态、空气质量,堵塞时自动报警,避免滤芯失效未及时发现的风险。
> 稳定高效:核心风机采用专用风机,运行平稳,噪音低(部分型号<50dB),寿命长,保障连续生产。
> 维护便捷:更换无需工具。
| 型号 |
最大流量(m³/h) |
最大负压 | 额定功率 |
电压 |
噪音水平 |
| FC180H | 200 | 3200 Pa | 135 W | 220 V | < 55 dB |
| FC300H-DH | 300 | 5000 Pa | 300 W | 220 V | < 55 dB |
以上为部分核心参数,更多技术细节或特殊定制需求,请咨询我们的工程师。