芯片生产超净空间解决方案-爱普特

芯片加工超净空间一体化净化方案

同步净化清洗烟尘与剥离颗粒，保障车间环境、设备稳定与生产合规，为绿色智造护航。

产品品质
芯片生产（光刻、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等）过程中，洁净风若含微粒、气态分子污染物（AMC）、微生物等杂质，易附着在晶圆表面及精密电路结构上，造成电路短路、光刻图形缺陷、膜层夹层、金属薄膜侵蚀等问题，导致芯片电性能异常、良率暴跌，增加返工与报废成本，制约芯片向3nm、7nm等先进制程迭代，无法实现高端芯片高品质生产目标。
精密设备
芯片生产依赖的光刻机、量检测设备、薄膜沉积设备、离子注入机等核心精密设备，易被洁净风中的微粒、化学污染物附着，造成镜头模糊、光路衰减、定位偏差、腔体污染，降低芯片加工精度与设备运行稳定性，加速光学元件、传动部件、精密腔体的磨损老化，增加设备维护频次、更换成本及停机时间，影响产线自动化精密运转。
职业健康
洁净风系统若过滤不彻底，会导致芯片生产过程中挥发的VOCs、酸碱气体等有害成分残留，长期接触会损伤操作人员呼吸系统与皮肤黏膜，刺鼻异味还会降低作业舒适度，易引发人员疲劳、注意力不集中，既影响作业效率，也存在明确的职业健康隐患，不符合芯片生产人性化、合规化生产要求。
产线稳定运行
芯片生产产线多为高节拍、高精密自动化连续运行模式，洁净风若洁净度不达标、温湿度波动超标或气流不稳定，不仅会污染洁净室环境、破坏ISO 1-3级洁净管控标准，还可能因微粒堆积、静电滋生引发设备电路短路、工艺中断，干扰产线连续运转，制约产能释放，无法满足芯片生产高效、清洁、稳定、精密的核心需求。

1V1定制组合式净化方案分级处理，一站解决

针对芯片生产洁净风的微粒、AMC等杂质，及产品品质、精密设备、职业健康、产线稳定等痛点，爱普特提供一站式洁净风解决方案。

分级过滤去除各类杂质与有害气体，精准控温控湿稳气流，保障晶圆品质与设备稳定，守护员工健康，助力高端芯片制程迭代。

为什么选择爱普特？

01保障产品洁净

> 过滤效率：采用HEPA高效过滤器，对0.3微米以上颗粒物过滤效率高达99.997%，有效去除打标产生的超细颗粒。

02智能监控，运行可靠，降低综合成本

> 智能感知 (部分型号)：配备IQ2008智能控制系统，可实时监控滤芯状态、空气质量，堵塞时自动报警，避免滤芯失效未及时发现的风险。

> 稳定高效：核心风机采用专用风机，运行平稳，噪音低（部分型号<50dB），寿命长，保障连续生产。

> 维护便捷：更换无需工具。

爱普特产品型号：匹配您的生产需求

针对不同芯片生产洁净度要求，我们提供以下经典型号

型号	最大流量(m³/h)	最大负压	额定功率	电压	噪音水平
FC180H	200	3200 Pa	135 W	220 V	< 55 dB
FC300H-DH	300	5000 Pa	300 W	220 V	< 55 dB

以上为部分核心参数，更多技术细节或特殊定制需求，请咨询我们的工程师。

联系工程师，咨询选型与方案设计

常见问题

Q: 500W激光清洗机需要配多大风量的净化系统？A: 风量需求与激光功率、清洗头距工件距离、是否密闭罩有关。通常需要1000-3000 m³/h或更高。我们需要您的具体参数进行精确计算。
Q: 组合系统如何控制和连接？A: 我们可以提供集成电控柜，实现前后级设备联动控制、统一报警。并支持与您的激光清洗设备进行IO信号通信，实现同步启停。
Q: 滤芯的更换周期和成本如何？A: 前置除尘器的防静电滤筒寿命较长，主过滤器的HEPA高效滤芯寿命受前级保护影响。系统设有压差报警提示更换。我们提供原厂耗材与维护建议。